氣體滅菌法中最常用的氣體為環氧乙烷，一般與80%~90%的惰性氣體混合使用，在充有滅菌氣體的高壓腔室內進行。含氯的物品及能吸附環氧乙烷的物品則不宜使用本法滅菌。
        環氧乙烷滅菌裝置是一次性使用無菌醫療器械生產企業的關鍵設備，安裝操作、使用管理有其特殊要求，使用環氧乙烷做滅菌劑， 環氧乙烷是一種廣譜滅菌劑，可在常溫下殺滅各種微生物，包括芽孢、結核桿菌、細菌、病毒、真菌等。
1. 滅菌條件
氣體滅菌方式用于醫療器械、塑料制品等不能采用高壓滅菌的物品滅菌。
2. 滅菌步驟
  滅菌時，將滅菌腔室抽成真空； 然后通入蒸汽使腔室內達到設定的溫濕度平衡的額定值； 再通入經過濾和預熱的環氧乙烷氣體。
3. 注意事項
A. 滅菌過程中，應嚴密監控腔室的溫度、濕度、壓力、環氧乙烷濃度及滅菌時間，必要時使用生物指示劑監控滅菌效果。
B. 整個滅菌過程應在技術熟練人員的監督下進行。
C. 滅菌后應采用新鮮空氣置換，使殘留的環氧乙烷和其他易揮發性殘留物消散，并對滅菌物品中的環氧乙烷殘留物和反應產物進行監控，以證明其不超過規定的濃度，避免產生毒性。
D. 采用環氧乙烷滅菌時，應進行泄露試驗，以確認滅菌腔室的密閉性。
E. 滅菌程序確認時，還應考慮物品包裝材料和滅菌腔室中物品的排列方式對滅菌氣體的擴散和滲透的影響。
F. 生物指示劑一般采用枯草芽孢桿菌孢子。